| автор: | Arai T. Yaegashi H. Tsujita K. Smayling M. C. Axelrad V. Oyama K. Hara A. |
| источник: | OPTICAL MICROLITHOGRAPHY XXVI |
| заглавие: | Sub-12nm Optical Lithography with 4x Pitch Division and SMO-Lite |
| год издания: | 2013 |
| том: | 8683 |
| страницы: | 868305 |
| ссылка на полный текст: | http://dx.doi.org/10.1117/12.2011329 |
| рубрика: | FO4.2.4 |
| Автор записи: | admin |
| Дата/время последнего изменения: | 2019-11-28 00:20:53 |
Вы не можете изменять эту запись.