| автор: | Richter S. Stutz M. Gratzke A. Schleitzer Y. Krampert G. Hoeller F. Wolf U. Riedel L. Doering D. |
| источник: | MOEMS AND MINIATURIZED SYSTEMS XII |
| заглавие: | Position Sensing and Tracking with quasistatic MEMS Mirrors |
| год издания: | 2013 |
| том: | 8616 |
| страницы: | 86160D |
| ссылка на полный текст: | http://dx.doi.org/10.1117/12.2009439 |
| рубрика: | FO4.2.4 |
| Автор записи: | admin |
| Дата/время последнего изменения: | 2019-11-28 00:20:53 |
Вы не можете изменять эту запись.