| автор: | Dehe A. Glacer C. Nawaz M. Kolb C. Laur R. |
| источник: | JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING |
| заглавие: | New ways of measuring the pull-in voltage and transient behavior of parallel-plate capacitive MEMS transducers |
| год издания: | 2013 |
| том: | 23 |
| выпуск: | 8 |
| страницы: | 085025 |
| ссылка на полный текст: | http://dx.doi.org/10.1088/0960-1317/23/8/085025 |
| рубрика: | FO4.2.4 |
| Автор записи: | admin |
| Дата/время последнего изменения: | 2019-11-28 00:20:53 |
Вы не можете изменять эту запись.