| автор: | Dodd R. You S. D. Bryant P. M. Bradley J. W. |
| источник: | PLASMA PROCESSES AND POLYMERS |
| заглавие: | Negative Ion Density Measurements in Reactive Magnetron Sputtering |
| год издания: | 2009 |
| том: | 6 |
| страницы: | S615-S619 |
| ссылка на полный текст: | http://dx.doi.org/10.1002/ppap.200931606 |
| рубрика: | FO4.2.1 |
| Автор записи: | admin |
| Дата/время последнего изменения: | 2011-12-05 14:30:03 |
Вы не можете изменять эту запись.