| автор: | Baselt T. Hartmann P. Koch E. Taudt C. |
| источник: | RELIABILITY, PACKAGING, TESTING, AND CHARACTERIZATION OF MOEMS/MEMS, NANODEVICES, AND NANOMATERIALS XIII |
| заглавие: | Investigation of a novel approach for the cross-linking characterization of SU-8 photoresist materials by means of optical dispersion measurements |
| год издания: | 2014 |
| том: | 8975 |
| страницы: | 89750A |
| ссылка на полный текст: | http://dx.doi.org/10.1117/12.2039052 |
| рубрика: | FO4.2.4, FO9.1.1.2 |
| Автор записи: | admin |
| Дата/время последнего изменения: | 2019-11-28 00:48:36 |
Вы не можете изменять эту запись.