| автор: | Ye J. Yang D. Qiu J. Yan B. Babcock C. McGowan S. Baron S. Pandey T. Kapasi S. Aquino C. |
| источник: | DESIGN-PROCESS-TECHNOLOGY CO-OPTIMIZATION FOR MANUFACTURABILITY VIII |
| заглавие: | Robust and automated solution for correcting hotspots locally using cost-function based OPC solver |
| год издания: | 2014 |
| том: | 9053 |
| страницы: | 90530Z |
| ссылка на полный текст: | http://dx.doi.org/10.1117/12.2046662 |
| рубрика: | FO4.2.4 |
| Автор записи: | admin |
| Дата/время последнего изменения: | 2019-11-28 00:20:53 |
Вы не можете изменять эту запись.