| автор: | Asai M. Servin I. Tiron R. Gharbi A. Argoud M. Jullian K. Chamiot-Maitral G. Barros P. P. Chevalier X. Belledent J. Bossy X. Moulis S. Navarro C. Cunge G. Barnola S. Pieczulewski C. |
| источник: | JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS |
| заглавие: | Contact hole shrink by directed self-assembly: Process integration and stability monitored on 300 mm pilot line |
| год издания: | 2014 |
| том: | 53 |
| выпуск: | 6 |
| страницы: | 06JC05 |
| ссылка на полный текст: | http://dx.doi.org/10.7567/JJAP.53.06JC05 |
| рубрика: | FO4.2.4 |
| Автор записи: | admin |
| Дата/время последнего изменения: | 2019-11-28 00:20:53 |
Вы не можете изменять эту запись.