| автор: | Davies E. George D. S. Holmes A. S. Gower M. C. |
| источник: | SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL |
| заглавие: | MEMS Fabry-Perot optical accelerometer employing mechanical amplification via a V-beam structure |
| год издания: | 2014 |
| том: | 215 |
| страницы: | 22-29 |
| ссылка на полный текст: | http://dx.doi.org/10.1016/j.sna.2013.08.002 |
| рубрика: | FO4.2.4, FO9.1.1.3 |
| Автор записи: | admin |
| Дата/время последнего изменения: | 2019-11-28 00:48:36 |
Вы не можете изменять эту запись.