| автор: | Dobbelaere T. Roy A. K. Vereecken P. Detavernier C. |
| источник: | CHEMISTRY OF MATERIALS |
| заглавие: | Atomic Layer Deposition of Aluminum Phosphate Based on the Plasma Polymerization of Trimethyl Phosphate |
| год издания: | 2014 |
| том: | 26 |
| выпуск: | 23 |
| страницы: | 6863-6871 |
| ссылка на полный текст: | http://dx.doi.org/10.1021/cm503587w |
| рубрика: | FO4.2.4 |
| Автор записи: | admin |
| Дата/время последнего изменения: | 2019-11-28 00:20:53 |
Вы не можете изменять эту запись.