| автор: | Xu Y. Guo Q. Liu Y.X. Wang Y.N. Peng F. Li X.S. Liu W.Y. |
| источник: | JOURNAL OF APPLIED PHYSICS |
| заглавие: | An investigation of Ar metastable state density in low pressure dual-frequency capacitively coupled argon and argon-diluted plasmas |
| год издания: | 2015 |
| том: | 117 |
| выпуск: | 2 |
| страницы: | 023306 |
| ссылка на полный текст: | http://dx.doi.org/10.1063/1.4905953 |
| рубрика: | FO4.2.2 |
| Автор записи: | admin |
| Дата/время последнего изменения: | 2019-11-28 00:20:53 |
Вы не можете изменять эту запись.